1 范圍

      本文件規(guī)定了電氣火災痕跡物證技術鑒定方法中EDS（X射線能譜儀）成分分析法的原理、儀器設備、檢材的制備、檢材的檢測和結果。

      本文件適用于火災物證鑒定領域中，對痕跡物證微區(qū)成分的元素組成及含量進行測試，進行成分元素的溯源和同一性比對分析。

2 規(guī)范性引用文件

      下列文件中的內(nèi)容通過文中的規(guī)范性引用而構成本文件必不可少的條款。其中，注日期的引用文件，僅該日期對應的版本適用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改單）適用于本文件。

      GB/T 13966 分析儀器術語

      GB/T 19267.6 刑事技術微量物證的理化檢驗 第6部分：掃描電子顯微鏡/X射線能譜儀

      GB/T 20162 火災技術鑒定物證提取方法

3 術語和定義

      GB/T 13966、GB/T 19267.6、GB/T 20162界定的以及下列術語和定義適用于本文件。

3.1

      EDS成分分析法 component analytic method of energy dispersive spectrometry

      用具有一定能量和強度的粒子束轟擊檢材物質(zhì)，根據(jù)檢材物質(zhì)被激發(fā)或反射的X射線的能量和強度的關系圖（稱為能譜），實現(xiàn)對檢材的非破壞性元素分析、結構分析和表面物化特性分析的方法。

3.2

      微區(qū)成分 microcosmic composition

      在痕跡物證上幾微米至幾十微米區(qū)域內(nèi)的元素組成及含量。

4 原理

      火災現(xiàn)場中的痕跡物證所含有的同種元素，不論其所處狀態(tài)如何，所發(fā)射的特征X射線均具有相同的能量。

      測量火災痕跡物證的特征X射線的強度作為定量分析的基礎；可分為有標樣定量分析和無標樣定量分析兩種。在有標樣分析檢材時，檢材內(nèi)各元素的實測X射線強度與標樣的同名譜線強度進行比較，經(jīng)過背景校正和基體校正，能較準確計算出絕對含量；在無標樣定量分析時，對檢材內(nèi)各元素同名或不同名譜線的實測強度進行相互對比，經(jīng)過背景校正，計算出它們的相對含量。

5 儀器設備

5.1 掃描電子顯微鏡

      分辨率3.0nm（30kV）；檢材條件較好時，其有效放大倍率為20倍～100000倍。

5.2 X射線能譜儀

      在MnK。處的分辨率高于133eV（計數(shù)率為2500cps時），元素分析范圍為，Be～92U。

5.3 其他所需設備

      超聲波清洗機、離子濺射儀、精密切割機、超薄切片機、干燥箱。

6 檢材的制備

6.1 所分析的檢材應為穩(wěn)定的固體，在真空及電子束轟擊下不揮發(fā)、不變性，無放射性和腐蝕性，適用于高、低真空條件下觀察。

6.2 根據(jù)掃描電子顯微鏡檢材室的大小，截取檢材上預觀察、分析的部位；對于較小的、易破壞的痕跡，應使用精密切割機在低轉(zhuǎn)速下進行切割。

6.3 截取的檢材，應保持其來樣狀態(tài)，保持干燥、避免腐蝕，其被觀察、測試部位不應與其他檢材相接觸。

6.4 用酒精擦拭或用超聲波清洗機進行表面清洗，清除檢材表面附著的污染物并晾干表面的水分。

6.5 將清洗過的檢材用導電膠或橡皮泥固定在檢材杯（臺）上，放于掃描電子顯微鏡檢材室內(nèi)待檢。

6.6 對于非導體檢材的表面，可使用離子濺射儀在檢材表面鍍一層導電膜，如金膜、鉑膜或碳膜等。

7 檢材的檢測

7.1 當掃描電子顯微鏡檢材室真空度達到要求時，調(diào)節(jié)加速電壓，使其高于被測元素的臨界激發(fā)電壓的2倍～3倍；對于常見金屬和合金，宜使用加速電壓20kV或25kV；對于硅酸鹽和氧化物，宜使用加速電壓15kV。

7.2 調(diào)節(jié)鎢燈絲發(fā)射電流使其達到飽和，保證獲得最大亮度的飽和點。

7.3 確定或選擇檢材上的微區(qū)觀察的特征部位，在適合倍率下觀察和拍照其微觀形貌。

7.4 對于溯源性檢材，應選取檢材熔化部位的微區(qū)部位進行分析，其大小應盡量接近熔化部位。

7.5 對于同一性比對檢材，應在比對檢材上選取至少三個部位微區(qū)用X射線能譜儀進行分析，其微區(qū)面積總和應盡量接近比對檢材。

7.6 對所選擇的微區(qū)成分進行定性和半定量分析，必要時應使用成分相近的標樣進行對比；分析方式可采用如下方式進行：

      ——面掃描分析：在檢材某一任意選擇的區(qū)域做面掃描，可以檢測檢材整個區(qū)域的面貌和各元素在該檢材區(qū)域內(nèi)的含量變化情況；

      ——線掃描分析：在檢材上任意一條直線進行線掃描，可以檢測出檢材在這一條直線的元素成分及含量變化情況。

8 結果

8.1 溯源性分析，應給出檢材微區(qū)內(nèi)主要含有的元素種類，將含量前三位的特征元素作為該檢材所含的主要元素。

8.2 同一性比對分析，除基體元素外，比對檢材與標樣所含特征元素相差一種以內(nèi)，可做同一性認定。

8.3 半定量分析應先得到非歸一化結果；如確定沒有遺漏元素并且非歸一化結果在95％～100％之間時，才能將結果歸一化。

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